真空探針臺測試儀，用于芯片，氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能，也可用于材料分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測試、物理研究，氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件。

產(chǎn)品型號：VS21

更新時(shí)間：2025-06-12

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

探針臺/冷熱臺測試儀系列

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產(chǎn)品介紹

特點(diǎn)：

★ 測量溫度寬，控溫精度高

★ XYZ三軸方向移動，定位精度高

★ 真空漏率優(yōu)秀，真空度高

★ 精密小巧，易于搬運(yùn)

用途：

真空探針臺測試儀用于芯片，氣敏元器件等在不同氣氛環(huán)境下電學(xué)性能，也可用于材料分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體電學(xué)性能測試、物理研究，氣敏分析、集成電路、LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)等系統(tǒng)中的重要部件。

真空探針臺測試儀規(guī)格參數(shù)：

項(xiàng)目	訂貨代碼	VS21-4 VS21-6
主體	VS21-4 （4探針）	腔體材質(zhì)： AL6061(可定制SUS304腔體) 密封方式：氟膠圈抽氣口:KF16 電信采集接口：標(biāo)配BNC接口腔體進(jìn)氣口：6mm(特殊可定制) 腔體外尺寸：6寸樣品臺尺寸：2寸樣品觀察窗：φ50mm
主體	VS21-6 （6探針）
探針組件（單組價(jià)格）	Q2	氣密型同軸接口探針夾具（普通型）
	Q3	氣密型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體）
	V2	真空型同軸接口探針夾具（普通型，需要抽真空時(shí)選擇）
	V3	真空型三軸接口探針夾具（抗干擾性強(qiáng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體，需要抽真空時(shí)選擇）
探針規(guī)格	000T	鍍金，50μm(可選：1μm、5μm、10μm、20μm、50μm、100μm、200μm) 例：010T代表10μm尺寸的探針。

信號線纜	R1	單頭甩空線
信號線纜	R2	雙頭線
位移座	ST	XYZ三軸位移尺寸(X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm）
高低溫控制系統(tǒng)	H	高溫控制器:常溫～450℃，控制精度±0.25℃，分辨率0.1℃（進(jìn)口溫控）
高低溫控制系統(tǒng)	L	低溫控制器:-194℃～0℃，控制精度±0.25℃
真空系統(tǒng)	MP	機(jī)械泵（飛躍）:2.2L/S(真空度1*10-1Pa)（不包含真空計(jì)）
	TP	分子泵組（Leybold）:90L/S(真空度510-5Pa) 復(fù)合真空計(jì)（Leybold ):PTR90(大氣至510-7Pa)主體需要采用不銹鋼材質(zhì)，才能抽到高真空
	TP
顯微鏡	PM	體式顯微鏡:ZOOM645S（環(huán)形光源）
	CM	CCD：200萬像素
	DP	戴爾顯示器：21寸
	SJ	視頻顯微鏡+10寸顯示屏（100萬像素）
附件	D20	液氮杜瓦罐:20L（溫度控制在-196℃-室溫可控）